关于“文达讲坛”（第二十一讲）学术讲座的预告

各院部、校直各部门：

为增强我校师生学术科研意识，提升我校学术科研氛围和科研水平，特举办“文达讲坛”（第二十一讲）系列讲座，由智能制造学院承办。欢迎全校师生参加。

题目：半导体晶圆制造过程的控制方法及其应用

时间：2023年12月13日（周三）下午2:30

地点：图书馆五楼学术报告厅

内容简介：

导体晶圆制造过程是典型的批次生产过程，具有变量多与操作复杂的特征，且随着制造技术的发展，对设备的利用率也提出了更高的要求。因此，同一台机台可以同时制造不同规格的晶圆，而同一规格的产品也可能会出现在不同的机台上（亦即混合产品制程）。对该制程的控制问题受到了广大学者的关注。在过去的三十年中，Run-to-Run（R2R）控制理论取得了重大发展。本报告从混合产品制程的优化控制、扰动状态估计和测量延迟补偿的角度，对JADE、ANOVA、G&P-EWMA、d-EWMA协同设计、ESO-EWMA、DRL-EWMA等几种重要策略进行了总结和分析。

主讲人简介：潘天红，安徽大学特聘教授，副院长，博士生导师。现任IEEE高级会员，测控技术与仪器省一流专业负责人，中国自动化学会过程控制专业委员会委员、预测控制与智能决策专委会委员。主要从事过程建模、智能检测，以及优化控制等方面的研究工作。入选安徽省特支人才计划“创新领军人才”、江苏省333人才工程、江苏省六大人才高峰人才计划。荣获省部级科技奖一等奖2项，二等奖3项；主持国家基金项目4项、国家重点研发计划子课题1项，安徽省重点研发计划、安徽省重大专项、江苏省重点研发计划，以及江苏省自然基金各1项，承接产学研合作项目10余项；发表学术论文100余篇；出版中文专著3部、英文专著1部，主编教材1部，参编教材3部；授权中国发明专利36件，申请计算机软件著作权11项。

科技处

2023年12月11日